R32 Difluormethan som tørætsningsgas til Si3N4

R32 Difluormethan også kendt som HFC-32, molekylformel: CH2F2, som en anisotropisk ætsningsgas for Si3N4, den har en relativt lav selektivitet for SiO2 og Si. Ud over at være hovedætsemidlet kan det også bruges som hjælpegas til andre hovedætsemidler til at justere fluor/carbon-forholdet.

 

R32 – Nøglekarakteristika:

1.Ikke-ozonnedbrydende

2. Ikke-giftig

3.Hydrofluorcarbon (HFC) gas

4. Olie: POE (Poly Olester Oil)

I den moderne æra af halvlederfremstilling, hvor præcision og miniaturisering er nøglefaktorer, spiller ætsningsprocessen en afgørende rolle. Ætsning er en kompleks teknik, der bruges til selektivt at fjerne lag af materiale fra halvlederskiver, hvilket muliggør skabelsen af ​​komplekse kredsløbsmønstre.

Tørætsning er brugen af ​​gas til at ætse mediet. Almindelige tørætsningsmetoder omfatter fysisk ætsning (såsom ionstråleætsning) og kemisk dampætsning (såsom plasmaætsning). Gassen bruges til at påvirke overfladen af ​​substratet til ridser, og dens karakteristika er høj behandlingsnøjagtighed.

R32 Difluormethan er en almindeligt anvendt tørætsningsgas, der er meget brugt i plasmaætsningsprocesser i elektronikindustrien. Derudover er det også et kølemiddel med nul ozonnedbrydningspotentiale og er meget brugt i køleudstyr såsom klimaanlæg, køleskabe og bilklimaanlæg. Sammenlignet med traditionelle kølemidler har R32-gas højere køleeffektivitet og lavere miljøbelastning.

Xiamen Juda er en førende leverandør af ætsningsgas og køleløsninger i Kina, der tilbyder en bred vifte af produkter såsom R32, C4F8,SF6,CF4 og Refrigerant Gas. Xiamen Juda blev grundlagt i 1988 af en af ​​Kinas pionerer inden for kemisk fremstilling, Juhua Group Corporation, og har været dedikeret til at eksportere fluorholdige kemikalier siden 2004. Vores team er forpligtet til at yde topkvalitet og levere førsteklasses gasløsninger til at imødekomme vores kunders behov. Vi sætter en ære i vores mangeårige ry for kvalitet og pålidelighed. Med Xiamen Juda kan du stole på, at du får det bedste i branchen.