FFKM er et højtydende tætningsmateriale. Dens fremragende ydeevne har gjort det muligt for dens anvendelse at trænge ind i hele produktionssystemet af halvlederprodukter. Blandt dem er FFKM-tætningsringe en af de vigtigste forbrugsstoffer, der kræves til produktion af integrerede kredsløb.
FFKM's struktur og præstationskarakteristika
FFKM er copolymeriseret af tetrafluorethylen (TFE), perfluoralkylvinylether (PAVE) som hovedmonomerer og en lille mængde hærdepunktmonomer (CSM). Som vist på figuren nedenfor er alle kulstofatomer i polymeren. Hydrogenatomerne på gummiet er alle erstattet af fluoratomer, hvilket gør det til et gummi, der slet ikke indeholder CH-bindinger.
Vigtigste præstationsegenskaber for FFKM:
1) Fysiske egenskaber
Densiteten af FFKM er 1.9-2.0g/cm³. Dets normale temperaturmekaniske egenskaber er tæt på vinylidenfluorid (VDF)-baseret fluorgummi (FKM), men dets højtemperaturmekaniske egenskaber er bedre end fluorgummi.
2) Kemisk resistens
Der er ingen brintatomer i FFKM-molekylkæden, og CC-bindingerne er dybest set omgivet af en skal sammensat af F-atomer, som viser stærk kemisk inertitet og gør polymeren væsentligt modstandsdygtig over for kemikalier.
3) Høj og lav temperatur modstand
Driftstemperaturen for FFKM er generelt 260 ~ 290 grader og kan bruges intermitterende ved høje temperaturer på 316 grader. Da der indføres et stort antal -OCF3-grupper i molekylernes forgreningskæder, forbedres molekylernes fleksibilitet, og gummiets modstandsdygtighed over for lav temperatur forbedres.
4) Plasma modstand
I et plasmamiljø udviser det produktegenskaber med høj renhed og lav nedbør og kan modstå plasmabombardement i lang tid.
fFKM's applikationer i halvledere
I halvlederfremstilling er pålideligheden af elastomere tætninger afgørende, fordi produktionsstop for at erstatte tætninger er ekstremt dyre. For at undgå potentielle risici er kravene til sælernes renhed og renhed meget strenge. Samtidig skal tætningerne kunne arbejde i lang tid i trykmiljøet med høj temperatur, højvakuum og ætsende kemiske gasser.
Med hensyn til halvlederapplikationer fokuserer FFKM hovedsageligt på:
1) Gastætning: I halvlederfremstillingsprocessen er behandling og transport af forskellige gasser afgørende. FFKM O-ring bruges til tætning af gasrørledninger, ventiler og samlinger for at sikre, at gas ikke lækker og opretholde processtabilitet.
2) Ætsning og rensning: Ætsnings- og rensetrin i halvlederprocesser involverer ofte brug af ætsende medier såsom stærke syrer eller baser. FFKM O-ringe er meget udbredt i udstyrsdele i kontakt med disse medier, såsom ætsekamre, rensetanke osv. på grund af deres fremragende korrosionsbestandighed.
3) Væske- og kemikalietransport: Ved halvlederfremstilling skal forskellige væsker og kemikalier transporteres, såsom opløsninger, opløsningsmidler, rensevæsker osv. FFKM O-ring kan bruges til at forsegle udstyrskomponenter såsom rør, ventiler og pumper for at sikre sikker levering af medier.
4) Højtemperaturmiljø: Visse trin i halvlederprocessen skal udføres i et højtemperaturmiljø, såsom varmebehandling, udglødning osv. FFKM O-ringe har fremragende højtemperaturbestandighed og er i stand til at bevare deres elasticitet og tætning egenskaber ved høje temperaturer.
5) Ultrarent vandbehandling: I halvlederfremstilling bruges ultrarent vand til at rense og rense udstyr og materialer. FFKM O-ringe er meget brugt til at forsegle ultrarent vandbehandlingsudstyr for at forhindre indtrængen af urenheder og forurenende stoffer.
På grund af de høje omkostninger ved FFKM-gummiråmaterialer er arbejdsforholdene, hvor FFKM-tætninger normalt anvendes, ekstremt barske. Under disse barske arbejdsforhold er andre gummier tilbøjelige til korrosion, hævelse, opløsning, ældning og hærdning osv., hvilket resulterer i tætningssvigt og kan derfor ikke opfylde tætningskravene. På grund af dets fremragende korrosionsbestandighed og høje temperaturbestandighed kan FFKM-gummi ikke kun opfylde tætningskravene til barske arbejdsforhold, men også øge levetiden for tætninger og reducere kundernes vedligeholdelsesomkostninger.
